桂林电子科技大学微纳光电检测技术研究团队参与项目荣获国家科学技术进步奖一等奖

7月8日，国家科学技术奖励大会、两院院士大会、中国科协第十一次全国代表大会在京召开。习近平总书记为国家最高科学技术奖获得者等颁奖并发表重要讲话。

由我校微纳光电检测技术团队参与完成的“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目荣获国家科学技术进步奖一等奖。

计量是测量的科学及应用。测得出，才能造得出；测得准，才能造得精。纳米计量是实现纳米制造准确性的前提和保障。研究团队长期聚焦纳米级位移计量方向开展基础理论与工程化应用研究，攻克了多自由度纳米级激光干涉测量模型设计验证方法，重点研究全行程多自由度误差标定体系，突破了干涉信号非线性误差抑制等行业关键技术难题，有效提升了纳米计量检测的精度与稳定性。

研究团队先后承担了国家科技重大专项子课题、国家重点研发计划等国家级科研项目，攻克多项纳米计量核心技术，成功研制双频 / 单频激光干涉仪相位卡、差分干涉仪等关键硬件设备，具备系统方案设计、核心元器件自主研发、整机装配集成与标定测试一体化研发能力，可面向行业提供全链条定制化纳米位移计量整体解决方案。